近日，工信部公布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，包含氟化氪光刻机和氟化氩光刻机。其中，氟化氩光刻机光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻精度≤8nm。

国产光刻机取得突破半导体自主（试读）...