2017年4月，尼康向阿斯麦尔（ASML）和蔡司的微影技术发起专利诉讼，要求赔偿损失并停止出售相应技术的光刻机。经过两年的和解，ASML和蔡司一共支付尼康1.5亿欧元赔偿金，以及未来十年双方相互支付相应收入0.8%的专利（试读）...