中微半导体设备（上海）股份有限公司洁净室
走进上海超硅半导体股份有限公司，10级超净无尘车间内，交错穿梭的天车系统高效运转，将一片片硅片精准运至各个生产环节。该公司在上海松江建设的“300mm集成电路用硅片全（试读）...