封面丨光机电研究院:布局“芯产业” 加速“智、创”双驱动

作者:魏世杰
出处:科学导报2023年第82期

“这是光刻间,这是工艺间,这是封装间……整个车间有1300多平方米,包含12个超净车间,能完成从光刻、刻蚀沉积、P面电极到镀膜、贴片、老化测试、光纤耦合等全部流程。”11月7日,记者走进位于晋城经济技术开发区山(试读)...