聚焦丨科学家开发出三维垂直场效应晶体管

作者:张梦然
出处:科学导报2022年第35期

通过铁电栅极绝缘体和原子层沉积氧化物半导体通道,日本科学家制造了三维垂直场效应晶体管,可用来生产高密度数据存储器件。此外,通过使用反铁电体代替铁电体,他们发现擦除数据只需要很小的净电荷,从而提高了写入(试读)...