聚焦丨新方法让光片“又宽又薄”

作者:刁雯蕙
出处:科学导报2022年第20期

中科院深圳先进技术研究院正高级工程师李剑平团队提出了一种生成薄而宽的准无衍射激光光片的光瞳掩模优化设计方法。该方法提出了一个光片质量的全局评价因子,用以表征光片厚度、无衍射范围和旁瓣之间的制衡关系。理(试读)...