兰州大学物理科学与技术学院教授田永辉团队与澳大利亚皇家墨尔本理工大学教授阿南·米切尔课题组、上海交通大学教授苏翼凯课题组合作，在薄膜铌酸锂晶圆的表面沉积了一层氮化硅薄膜，通过成熟的CMOS兼容工艺刻蚀氮化（试读）...