理论研究丨扫描电子显微镜对于表面截面同时需求类样品的测试方案研究

作者:张旭良 陈双影 郭福水 郝连涛
出处:科技风2024年第16期

摘 要:本文针对在扫描电子显微镜测试中具备表面和截面双重需求,同时属于块体或薄膜状、需避免损坏的弱导电性样品提供一种简单而高效的测试方案。该方案可以减少金属喷涂的次数和资源损耗,并有效地防止在样品(试读)...