机械化工丨基于SE技术的硼扩散和氧化退火工艺研究

作者:成秋云 陈骏 李明 赵增超 刘湘祁
出处:科技风2024年第08期

摘 要:主要探究了关于N-TOPCon电池应用于选择性发射极(SE)技术中的硼扩散和氧化退火工艺。通过设定实验变量,包括无氧推进过程及其所处的硼扩散和氧化退火工艺阶段,进行了方阻、ECV和钝化方面测试验证。在氧(试读)...