摘 要：电子回旋共振（Electron Cyclotron Resonance，ECR）等离子体源是用来产生单电荷态离子束的等离子体装置，它可以产生束流较强或者较高的电荷态离子，同时还能提供束流的稳定性、重复性和工作寿（试读）...