摘 要：锗单晶晶片作为一种重要的外延层衬底材料被广泛应用于航天航空领域。衬底外延生长要求锗晶片表面有极低的表面粗糙度、无表面/亚表面损伤和残余应力等，需要通过对锗表面进行抛光去除表面缺陷、提高表面质量，（试读）...