摘 要：论述了锗晶片表面清洗的不同方法以及表面清洗的机理。锗晶片的表面清洗分为干法清洗和湿法清洗。湿法清洗一般采用氧化、剥离的清洗原理，即首先采用氧化性溶液将锗晶片表面进行氧化，然后再用一定的化学（试读）...