摘 要：半导体工艺类课程是高等院校电子信息类专业的重要课程之一，此类课程以半导体物理、固体物理等为基础，针对半导体类器件的制作工艺流程展开教学。半导体工艺类课程内容涉及知识面广，综合性强，在课程内（试读）...