新知丨攻克“最后堡垒”:国产EUV难点何在?

作者:荣智慧
出处:看世界2026年第02期

2025年9月24日,上海,2025工博会,上海微电子(SMEE)展台,国产光刻机吸引参观者

近日,某外媒“爆料”了所谓的中国“曼哈顿计划”,称中国科学家在深圳造出了美国多年来严防死守的极紫外(EUV)光刻机的原型机。

(试读)...