生活·风尚丨阿斯麦的启示:国产EUV何时到来?

作者:曾文仁
出处:看世界2023年第21期

2021年11月7日,第四届进博会,阿斯麦以裸眼3D视频形式展示EUV光刻机的内部运作原理

所谓中国清华大学成功突破EUV光刻机技术难关,且工厂已于雄安新区运行的虚假新闻,近日得到了求证并非为事实,却依然引起了广泛讨(试读)...