摘  要：微纳电子技术发展概述专题课程是高等院校微电子科学与工程专业的一门综合类专业选修课程，对提升学生微电子行业的技术领域、前沿动态和发展趋势认知具有重要意义。该文作者基于自身及所在团队老师多年微（试读）...